除自由電子激光器外，各種激光器的基本工作原理均相同，產生激光的必不可少的條件就是離子數反轉或者增益大于損耗，所以裝置中必不可少的組成部分有激勵（或抽運）源、具有亞穩太怪胎級的工作介持兩個部分。激勵是工作介持吸收外來能量后激發到激發態，為實現并維持粒子數反轉創造條件。激勵方式有光學激勵、電激勵、化學激勵和核能激勵等。

    激光工作物質是指用來實現粒子數反轉并產生光的受激輻射放大作用的物質體系，有時也稱為激光增益媒質，它們可以是固體（晶體、玻璃）、氣體（原子氣體、郭子氣體、分子氣體）、半導體和液體等媒質。對激光工作物質的主要要求，是盡可能在其工作粒子的特定能級間實現較大程度的粒子數反轉，并使這種反轉在整個激光發射作用過程中盡可能有效地保持下去；為此，要求工作物質具有合適的能級結構和躍遷特性。

    而我們所說的紫外激光器是按照輸出波段的范圍分類的，主要與紅外激光和可見激光做比較，紅外激光和可見光通常靠局部的加熱使物質熔化或者氣化的方式來加工，但是這種加熱會使物質周圍遭到破壞因而限制了邊緣強度和產生小精細特征的能力。紫外激光直接破壞連接物質原子組分的化學鍵，這種被稱為“冷”過程的方式不產生對外圍的加熱而直接將物質分離成原子。

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